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2026-10
星期 五
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广州单靶磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应
化合物材料磁控溅射技术基于物理溅射原理，利用高能粒子撞击靶材产生的溅射原子，在真空环境中沉积形成薄膜。此技术在制备AlN、ITO、SiN等化合物材料时，展现出优良的成膜均匀性和材料稳定性，适用于微纳电子器件和光电元件的研发。科研团
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2026-10
星期 五
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广州新型半导体器件加工平台 广东省科学院半导体研究所供应
在半导体器件加工过程中，绿色制造理念越来越受到重视。绿色制造旨在通过优化工艺、降低能耗、减少废弃物等方式，实现半导体器件加工的环保和可持续发展。为了实现绿色制造，企业需要采用先进的节能技术和设备，减少能源消耗和排放。同时，还需要加
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2026-10
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广州射频磁控溅射特点 广东省科学院半导体研究所供应
在交通领域的节能应用中，该研究所的磁控溅射技术实现了突破性进展。其开发的耐磨减摩涂层通过磁控溅射工艺沉积于汽车发动机三部件表面，利用高致密性薄膜的润滑特性，使部件摩擦系数降低25%，进而实现整车油耗减少3%的效益。该涂层采用Cr-
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2026-10
星期 五
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广州超表面半导体器件加工 广东省科学院半导体研究所供应
选择合适的功率器件半导体器件加工公司，是确保产品质量和研发效率的重要环节。一个理想的加工公司应具备完整的加工工艺体系，涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、切割和封装等关键步骤，能够实现从研发到中试的全流程支持。加工公司还需拥有先进的设
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星期 五
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广州双靶磁控溅射分类 广东省科学院半导体研究所供应
在磁控溅射靶材的回收与再利用领域，研究所开发了环保型再生工艺。针对废弃靶材的成分特性，采用机械研磨与化学提纯相结合的预处理方法，去除表面氧化层与杂质，再通过磁控溅射原理进行靶材再生——将提纯后的材料作为靶材，通过溅射沉积于新的衬底
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